| 发明名称 |
ELECTRODE COMB, MICROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING AN ELECTRODE COMB OR A MICROMECHANICAL COMPONENT |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Elektrodenkamm (82) für ein mikromechanisches Bauteil mit mindestens einem Elektrodenfinger, für welchen eine erste Elektrodenfinger-Untereinheit (88,90) mit einer ersten Mittellängsachse (88a,90a) und eine zweite Elektrodenfinger-Untereinheit (88,90) mit einer zweiten Mittellängsachse (88a,90a) definierbar sind, wobei die zweite Mittellängsachse (88a,90a) gegenüber der ersten Mittellängsachse (88a,90a) um einen Knickwinkel (d) ungleich 0° und ungleich 180° geneigt ist, und ein mikromechanisches Bauteil mit einem solchen Elektrodenkamm (82). Ebenso betrifft die Erfindung mikromechanische Bauteile. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für einen Elektrodenkamm (82) und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.</p> |
| 申请公布号 |
WO2009124611(A1) |
申请公布日期 |
2009.10.15 |
| 申请号 |
WO2008EP66811 |
申请日期 |
2008.12.04 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH;PIRK, TJALF;PINTER, STEFAN;MUCHOW, JOERG;FRITZ, JOACHIM |
发明人 |
PIRK, TJALF;PINTER, STEFAN;MUCHOW, JOERG;FRITZ, JOACHIM |
| 分类号 |
H02N1/00 |
主分类号 |
H02N1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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