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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG VON EINEM HALBLEITERWAFER
摘要
申请公布号 AT443343(T) 申请公布日期 2009.10.15
申请号 AT20000937934T 申请日期 2000.05.30
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 MIKHAYLICH, KATRINA;RAVKIN, MIKE;ANDERSON, DON
分类号 H01L21/00;H01L21/304 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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