具有多重对准装置的光刻设备和对准测量方法

摘要

一种光刻设备具有多个不同的对准装置，所述对准装置用于对相同的标记执行对准测量，通过：检测位于对象上的第一对准标记，并由第一检测器产生第一对准信号；检测所述相同的第一标记，并由第二检测器使用不同于所述第一检测器的不同的对准测量方式产生第二对准信号；接收来自所述第一检测器的所述第一对准信号；基于所述第一对准信号计算所述至少第一标记的第一位置；接收来自所述第二检测器的所述第二对准信号；基于所述第二对准信号计算所述至少第一标记的另外的第一位置。

主权项

1.一种光刻设备，包括：第一对准装置，其包括设置成检测位于对象上的至少第一对准标记并产生第一对准信号的第一检测器；第二对准装置，其使用与所述第一对准装置不同的对准测量方式，并包括设置成检测相同的所述至少第一对准标记并产生第二对准信号的第二检测器；处理器，其连接到所述第一检测器和所述第二检测器，并且被设置成：接收来自所述第一检测器的所述第一对准信号；基于所述第一对准信号计算所述至少第一对准标记的第一位置；接收来自所述第二检测器的所述第二对准信号；基于所述第二对准信号计算所述至少第一对准标记的另外的第一位置；其中所述第一对准装置包括用于产生第一光束的第一光源和第一光学部件，所述第一光学部件用于接收所述第一光束并产生第一对准束、把所述第一对准束导向位于所述对象上的所述至少第一对准标记、接收从所述至少第一对准标记返回的第一对准辐射并把所述第一对准辐射传送给所述第一检测器；其中所述第二对准装置包括用于产生第二光束的第二光源和第二光学部件，所述第二光学部件用于接收所述第二光束并产生第二对准束、把所述第二对准束导向位于所述对象上的相同的所述至少第一对准标记、接收从所述至少第一对准标记返回的第二对准辐射并把所述第二对准辐射传送给所述第二检测器；其中所述光刻设备包括移动所述对象的执行器，以及所述处理器被设置成：组合所述第一和另外的第一位置，以便计算所述至少第一对准标记的计算的第一位置；控制所述执行器以移动所述对象，以使至少第二和第三对准标记连续接收所述第一对准束；接收来自所述第一检测器的带有关于所述第一、第二和第三对准标记的位置信息的所述第一对准信号；基于所述第一对准信号还计算所述第二对准标记的第二位置和所述第三对准标记的第三位置；控制所述执行器以移动所述对象，以使所述至少第二和第三对准标记接收所述第二对准束；接收来自所述第二检测器的带有关于所述第一、第二和第三对准标记的另外位置信息的所述第二对准信号；基于所述第二对准信号还计算所述第二对准标记的另外的第二位置和所述第三对准标记的另外的第三位置；组合所述第二和另外的第二位置，以计算所述至少第二对准标记的计算的第二位置，并组合所述第三和另外的第三位置，以计算所述至少第三对准标记的计算的第三位置；基于所述计算的第一位置、所述计算的第二位置和所述计算的第三位置计算坐标系。