衬底检测装置

摘要

本发明公开一种衬底检测装置，其用于检测LCD衬底表面的缺陷。衬底检测装置能检测整个大尺寸衬衬底固定台改变衬底位置，从而使衬底检测装置的高度和占地面积最小化。

主权项

1.一种衬底检测装置，包括：一个表面照明系统，用于照亮衬底表面以便检测衬底表面的缺陷；以及一个衬底定位系统，用于将衬底置于表面照明系统的下方以便检测衬底表面，其中表面照明系统可水平移动，并且其中，所述表面照明系统包括：一个设置在一主框架上辅助框架，所述辅助框架围住表面照明系统并形成衬底检测装置的外观；一个光源、一个反射器、一个聚光器和一个散光器，所述光源、所述反射器、所述聚光器以及所述散光器固定地安装于辅助框架内；一个水平运动引导件，其形成于主框架上表面的某个位置处或辅助框架下表面的某个位置处，以提供表面照明系统的水平运动路径；以及多个可水平移动的块，其形成于辅助框架下表面的某个位置处或主框架上表面的某个位置处，并耦联到所述水平运动引导件以沿所述水平运动引导件水平移动。