发明名称
摘要
申请公布号 JP4342409(B2) 申请公布日期 2009.10.14
申请号 JP20040271362 申请日期 2004.09.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/8246;G11C11/15;H01L27/105;H01L43/08 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
地址