发明名称 雾化活性材料的分配装置、系统及其使用方法
摘要 本发明总体涉及一种雾化活性材料的分配装置、系统及使用其的方法。本发明公开了一种分配装置,包括:调节厌氧活性流体的流量的计量控制器;以及雾化器。本发明还公开了一种分配雾化的厌氧活性流体的方法,包括:提供用于分配雾化的厌氧活性流体的装置;提供用于厌氧活性流体的容器;以及将雾化的厌氧活性流体分配到工件上。本发明还公开了一种分配系统,包括:用于厌氧活性流体的容器;用于分配雾化的厌氧活性流体的分配装置;以及可操作地连接到分配装置的多自由度自动装置。
申请公布号 CN100548498C 申请公布日期 2009.10.14
申请号 CN200610121258.2 申请日期 2006.04.30
申请人 精密阀自动化公司 发明人 安东尼·J·黑尼斯
分类号 B05B1/30(2006.01)I 主分类号 B05B1/30(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 王新华
主权项 1、一种分配厌氧活性流体的装置,包括:计量控制器,所述计量控制器用于调节流向雾化器组件的厌氧活性流体的流量;雾化器组件,其由抗厌氧活性流体的材料制成,其中所述雾化器组件雾化厌氧活性流体,以提供雾化的厌氧活性流体,并且,进一步地其中所述雾化器组件包括喷嘴,所述喷嘴由抗厌氧活性流体的材料制成,所述喷嘴将所述雾化的厌氧活性流体分配到工件上;以及可调阀板,用于在基板之上可变化的距离处定位所述计量控制器。
地址 美国纽约