一种电机内置式抛光机转台

摘要

本发明涉及抛光设备技术领域，特别是关于一种电机内置式抛光机转台。支撑轴承安装于轴承座和托盘之间，抛光盘安装于托盘上，支撑轴承为托盘提供一个高精度的旋转支撑；中间轴两端分别与托盘和悬伸轴联接，形成转轴组件；直驱电机转子套装于中间轴上，直驱电机定子通过支撑盘与轴承座固联，直驱电机通过转轴组件驱动抛光盘；圆光栅和读数头分别安装在悬伸轴外端和轴承盖上，用以完成转台的反馈控制；集液槽安装于抛光盘外沿下方，挡液围栏套装在集液槽上，用于液体的收集。本发明所述抛光机转台结构紧凑、精度高、稳定性好且拆装方便可广泛应用于精密抛光设备。

主权项

1.一种电机内置式抛光机转台，其特征在于，支撑轴承(2)的内圈安装在托盘(3)上，支撑轴承(2)的外圈安装于轴承座(1)内；抛光盘(6)安装于托盘(3)上，托盘(3)为抛光盘(6)提供一个高精度的旋转支撑；中间轴(7)与托盘(3)和悬伸轴(8)之间分别用螺栓联接，形成转轴组件(99)；直驱电机(9)安装在轴承座(1)与转轴组件(99)之间的空腔，其中，直驱电机转子(91)套装于中间轴(7)上，并用螺栓与悬伸轴(8)的端面联接，直驱电机定子(92)用螺栓安装于与轴承座(1)下端固联的支撑盘(10)上，直驱电机(9)通过转轴组件(99)驱动抛光盘(6)；小轴承(11)安装于悬伸轴(8)与支撑盘(10)之间，以保证悬伸轴(8)转动的平稳性；圆光栅(13)安装在悬伸轴(8)外端，读数头(14)安装在轴承盖(12)上，用以完成转台的速度和位置反馈控制；集液槽(14)安装与抛光盘(6)外沿下方，挡液围栏(15)套装在集液槽(14)上，用以实现抛光盘(6)上面液体的收集。