直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法

摘要

本发明公开一种直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法，采用直热式叉指电极作为信号拾取和加热丝的碳纳米管气体传感器。直热式叉指电极可以拾取敏感膜输出信号，拾取信号时采用电极并联结构。直热式叉指电极可以作为加热丝，使加热电流流过每个指条形成串联回路，对其上的敏感膜区域加热。直热式叉指电极工艺简单，无需专门设计加热层，直接加热效果好，功耗低。直接加热敏感膜而无须通过加热衬底来提高敏感膜温度，因而不要求衬底具有良好的导热性，适应于更多种类衬底材料。

主权项

1、一种直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，包括碳纳米管复合敏感膜、叉指电极和传感器衬底，传感器衬底上设置叉指电极，叉指电极上设置气体敏感膜，其特征在于，所述的气体敏感膜是碳纳米管复合薄膜(14)，所述的叉指电极是直热式叉指电极(15，16，19)，所述的传感器衬底是传感器绝缘衬底(17)，同边的直热式叉指电极(1～6或7～12)所有指条之间相互串联，形成加热电流回路。