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发明名称
摘要
申请公布号	JP4342765(B2)	申请公布日期	2009.10.14
申请号	JP20020116265	申请日期	2002.04.18
申请人		发明人
分类号	C23C16/458;H01L21/22;H01L21/205	主分类号	C23C16/458
代理机构		代理人
主权项
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