晶圆盒底座

摘要

本实用新型公开一种晶圆盒底座，其包含一本体、至少二开口、一闩锁机构、至少一标示部及至少一检视窗口。所述本体与一盒罩及一晶圆放置架组合，共同形成一用以承载晶圆的晶圆盒。所述至少二开口对称的设于所述本体的两侧面。所述闩锁机构设于所述本体内，其具有至少二卡掣部可伸出所述至少二开口，以固锁所述盒罩。所述至少一标示部设于所述闩锁机构的至少二卡掣部的至少其一。所述至少一检视窗口，其实质对应所述至少一标示部而设于所述本体的表面，透过所述至少一检视窗口是否显示所述至少一标示部的情形，以判断所述闩锁机构是否确实固锁所述盒罩。

主权项

1、一种晶圆盒底座，其包含：一本体，其两侧面形成至少二开口；及一闩锁机构，其设于所述本体内，所述闩锁机构具有一伸出位置及一缩入位置，并设有至少二卡掣部对应于所述至少二开口，所述至少二卡掣部是在所述至少二开口外的一伸出位置及所述至少二开口内的一缩入位置之间移动；其特征在于：所述晶圆盒底座还包含：至少一标示部，其设于所述至少二卡掣部的至少其一；以及至少一检视窗口，其对应所述至少一标示部而设于所述本体的表面；所述闩锁机构位于所述缩入位置，所述至少一标示部是位于所述至少一检视窗口的下方；所述闩锁机构位于所述伸出位置，所述至少一标示部是伸出所述对应的开口。