发明名称 |
短程表面等离子体波与介质导波耦合结构及在传感上的应用 |
摘要 |
本发明涉及一种短程表面等离子体波与普通介质导波混合耦合结构,包括介质衬底层;位于该介质衬底层上的介质波导层;位于该介质导波层上的耦合匹配层;以及形成于该耦合匹配层上的、用于传导短程表面等离子体波的短程表面等离子体波导部分。采用所述结构可实现高度集成的耦合器,起偏器,调制器以及超薄物质折射率的高灵敏度检测芯片。 |
申请公布号 |
CN101556353A |
申请公布日期 |
2009.10.14 |
申请号 |
CN200810186418.0 |
申请日期 |
2008.12.16 |
申请人 |
清华大学;罗姆公司 |
发明人 |
刘仿;万锐媛;黄翊东;冯雪;张巍;彭江德;大西大;丹羽大介;三浦羲胜 |
分类号 |
G02B6/24(2006.01)I;G02B6/27(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I;G01N21/55(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王朋飞 |
主权项 |
1、一种短程表面等离子体波与普通介质导波混合耦合结构,其特征在于,所述耦合结构包括:介质衬底层;位于该介质衬底层上的介质波导层;位于该介质导波层上的耦合匹配层;以及形成于该耦合匹配层上的、用于传导短程表面等离子体波的短程表面等离子体波导部分。 |
地址 |
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