发明名称 镀膜玻璃用真空磁控镀膜室
摘要 本实用新型公开了一种抽气均匀的镀膜玻璃用真空磁控镀膜室,包括:腔室,在腔室内设置有三个隔离通道,隔离通道将腔室分割成四个区域,在每个隔离通道上设置有玻璃输送通道,在构成隔离通道的两侧墙板上以及构成玻璃输送通道的上、下隔板上开设有抽气孔,在腔室内还设置有两个抽气通道,抽气通道分布在隔离通道两端并与隔离通道内的空腔相通,抽气通道的两端与腔室上的抽气口相通。本实用新型适合于真空镀膜玻璃的生产领域。
申请公布号 CN201326011Y 申请公布日期 2009.10.14
申请号 CN200820216200.0 申请日期 2008.11.19
申请人 苏州新爱可镀膜设备有限公司 发明人 赵子东
分类号 C23C14/35(2006.01)I 主分类号 C23C14/35(2006.01)I
代理机构 张家港市高松专利事务所 代理人 黄春松
主权项 1、镀膜玻璃用真空磁控镀膜室,包括:腔室,其特征在于:在腔室内设置有三个隔离通道,隔离通道将腔室分割成四个区域,在每个隔离通道上设置有玻璃输送通道,在构成隔离通道的两侧墙板上以及构成玻璃输送通道的上、下隔板上开设有抽气孔,在腔室内还设置有两个抽气通道,抽气通道分布在隔离通道两端并与隔离通道内的空腔相通,抽气通道的两端与腔室上的抽气口相通。
地址 215625江苏省张家港市锦丰镇锦南路锦丰科技创业园B19号