发明名称 |
镀膜玻璃用真空磁控镀膜室 |
摘要 |
本实用新型公开了一种抽气均匀的镀膜玻璃用真空磁控镀膜室,包括:腔室,在腔室内设置有三个隔离通道,隔离通道将腔室分割成四个区域,在每个隔离通道上设置有玻璃输送通道,在构成隔离通道的两侧墙板上以及构成玻璃输送通道的上、下隔板上开设有抽气孔,在腔室内还设置有两个抽气通道,抽气通道分布在隔离通道两端并与隔离通道内的空腔相通,抽气通道的两端与腔室上的抽气口相通。本实用新型适合于真空镀膜玻璃的生产领域。 |
申请公布号 |
CN201326011Y |
申请公布日期 |
2009.10.14 |
申请号 |
CN200820216200.0 |
申请日期 |
2008.11.19 |
申请人 |
苏州新爱可镀膜设备有限公司 |
发明人 |
赵子东 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
张家港市高松专利事务所 |
代理人 |
黄春松 |
主权项 |
1、镀膜玻璃用真空磁控镀膜室,包括:腔室,其特征在于:在腔室内设置有三个隔离通道,隔离通道将腔室分割成四个区域,在每个隔离通道上设置有玻璃输送通道,在构成隔离通道的两侧墙板上以及构成玻璃输送通道的上、下隔板上开设有抽气孔,在腔室内还设置有两个抽气通道,抽气通道分布在隔离通道两端并与隔离通道内的空腔相通,抽气通道的两端与腔室上的抽气口相通。 |
地址 |
215625江苏省张家港市锦丰镇锦南路锦丰科技创业园B19号 |