一种微测辐射热计的微桥

摘要

本发明涉及微测辐射热计技术，具体地说是涉及一种利用等强度理论设计和使用微机械加工MEMS技术制造的微测辐射热计的微桥，其特点是：微桥的桥腿的根据由桥面自重产生的弯矩沿桥腿变化情况，将桥腿设计成变截面的等强度桥腿，使桥腿的任一截面的最大弯曲正应力均相同，即为在桥腿高度h不变的前提下，任一截面宽度b要与截面所受力矩M成正比，桥腿两端宽，向中间线形变窄。所述的桥面为正多边形，相当于截去了矩形的四个角；具有在同等强度下热导更小，填充因子更大，热应力更小等优点。

主权项

1、一种微测辐射热计的微桥，微桥由多晶锗硅(3)与底衬硅片(4)构成，在平面上有桥面(1)、与桥面相连的两个直杆桥腿(2)，其特征是：所述的桥腿根据由桥面自重产生的弯矩沿桥腿变化情况，将桥腿设计成变截面的等强度桥腿，使桥腿的任一截面的最大弯曲正应力均相同，即为在桥腿高度h不变的前提下，任一截面宽度b要与截面所受力矩M成正比，桥腿两端宽，向中间线形变窄。