发明名称 具有三元化合物沟道层的半导体器件
摘要 一种包括源电极(20,82)、漏电极(22,84)和与源电极(20,82)与漏电极(22,84)相连的沟道(18,92)的半导体器件。所述沟道(18,92)由含锌、锡和氧的三元化合物形成。所述半导体器件还包括栅电极(12,80),该栅电极配置成可将电场加到所述沟道(18,92)上。
申请公布号 CN100550423C 申请公布日期 2009.10.14
申请号 CN200480027030.6 申请日期 2004.06.25
申请人 惠普开发有限公司;俄勒冈州大学 发明人 R·霍夫曼;H·蒋;J·沃格
分类号 H01L29/786(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 杨 凯;梁 永
主权项 1.一种半导体器件,包括:源电极;漏电极;连接到源电极和漏电极的、由含锌、锡和氧的三元化合物组成的沟道;以及配置成允许将电场加到沟道的栅电极;其中所述含锌、锡和氧的三元化合物具有以下的化学计量:(ZnO)j(SnO2)1-j,式中j处于0.05至0.95之间。
地址 美国德克萨斯州