发明名称 排气装置压力控制系统
摘要 一种压力控制系统(10)包括本体(20),其中所述本体包含进气端口(22)、排气端口(24)以及先导控制室(30);柱塞(40),其通过弹簧(48)连接至所述主体(20)的上侧部分,并被保持成其可沿相对于滑动表面(29a、29b)的轴向滑动;用于检测所述进气端口(22)的气体压力的绝对压力传感器(SA)以及用于检测大气压力与所述进气端口(22)的气体压力之间的压差的差压传感器(SB);用于将压力调节气体供应至所述先导控制室(30)的控制阀(V);以及控制电路(C),用于发出针对传感器(SA和SB)的切换信号,并基于所述传感器(SA、SB)的输出驱动所述控制阀(V)。
申请公布号 CN100549893C 申请公布日期 2009.10.14
申请号 CN200680028941.X 申请日期 2006.06.27
申请人 先进能源工业公司 发明人 南部正博
分类号 G05D16/20(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 主分类号 G05D16/20(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 蔡胜利
主权项 1.一种排气装置压力控制系统,包括:主体,其中所述主体包含先导控制室,在所述主体中形成进气端口和排气端口;在所述进气端口与所述排气端口之间设置的阀座;以及柱塞,其中所述柱塞包含上侧滑块和下侧滑块;所述主体的柱塞通过弹簧连接至所述主体的上侧部分,并且通过所述上侧滑块和所述下侧滑块被保持成,所述柱塞在连接所述进气端口和所述排气端口的滑动表面上沿轴向可以滑动,所述柱塞包含一阀单元,所述阀单元相对于所述阀座设置成在所述柱塞沿轴向向上滑动时,在所述阀座与所述阀单元之间产生间隙,以使得所述进气端口与所述排气端口连通;所述排气装置压力控制系统还包括:用于检测所述进气端口中的压力的绝对压力传感器、以及用于检测所述进气端口中的压力与大气压力之差的差压传感器;用于将压力调节气体供应至所述先导控制室的控制阀;以及控制电路,其中所述控制电路用于将切换信号发送至所述绝对压力传感器和所述差压传感器,并且基于来自所述绝对压力传感器或差压传感器的输出,驱动所述控制阀。
地址 美国科罗拉多州