| 发明名称 | 具有薄膜的打印头 | ||
| 摘要 | 本发明描述了微加工器件及用于形成微加工器件的方法。包括硅(680)的薄膜通过将绝缘体上硅衬底(685)结合到硅衬底而形成在硅体(25)上。绝缘体上硅衬底的柄和绝缘层(695，690)被去除，留下结合到硅体的硅薄膜，使得没有绝缘体材料的中间层留在所述膜与所述体之间。压电层被结合到所述膜。 | ||
| 申请公布号 | CN100548692C | 申请公布日期 | 2009.10.14 |
| 申请号 | CN200480036898.2 | 申请日期 | 2004.10.07 |
| 申请人 | 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 | 发明人 | 陈振方;安德烈亚斯·比布尔;杰弗里·伯克迈耶 |
| 分类号 | B41J2/16(2006.01)I;B41J2/155(2006.01)I | 主分类号 | B41J2/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
| 主权项 | 1.一种形成打印头的方法，包括：蚀刻衬底的上表面从而形成至少一个蚀刻特征；将多层衬底结合到所述衬底的所述上表面，使得所述上表面上的所述蚀刻特征被覆盖从而形成室，所述多层衬底包括第一层和柄层；从所述多层衬底去除所述柄层从而形成膜；以及将压电层结合到所述膜。 | ||
| 地址 | 美国新罕布什尔州 | ||