激光振荡器和激光加工设备

摘要

本发明公开了激光振荡器和激光加工设备。激光加工设备的激光振荡器包括其间有一直线光路的一对终端镜，还包括在终端镜之间的光路上以给定间隔排列成直线的1/4波长板、激活介质、高次谐波分离/输出镜、会聚透镜和非线性光学晶体，即波长转换晶体。光学透镜的焦点被确定为在第一终端镜的反射表面附近，使得光学透镜在光学谐振器的光路上设置成跨过非线性光学晶体与第一终端镜的反射表面隔开约等于焦距的距离。

主权项

1.一种激光振荡器，包括：光学谐振器，具有在光学上彼此相对布置的第一和第二终端镜，激活介质，设置在所述光学谐振器的光路上；激励单元，对所述激活介质进行泵浦以产生具有基本频率的基波激光束；被切割以用于II型相位匹配的非线性光学晶体，该非线性光学晶体在所述光学谐振器的光路上设置成接近第一终端镜，以产生频率为基波光束的频率的N倍的高次谐波激光束，其中N表示等于或大于2的整数；光学透镜，在所述光学谐振器的光路上设置成跨过所述非线性光学晶体与所述第一终端镜隔开约等于焦距的距离，使得所述光学透镜的焦点位于第一终端镜的反射表面附近，1/4波长板，在所述光学谐振器的光路上设置在所述激活介质与所述第二终端镜之间；以及高次谐波分离/输出镜，设置在所述光学谐振器的光路上，以从所述光学谐振器提取高次谐波激光束。