加速度检测装置

摘要

本发明提供一种加速度的检测灵敏度高且抑制其他轴灵敏度的加速度检测装置。该加速度检测装置具有：矩形环状的外壳(5)；第1驱动臂(10)，其两端部由外壳的相对的两个端边支撑着；单臂构造的第2驱动臂(11)和单臂构造的检测臂(12)，其基端部由一方端边固定而朝向另一方端边延伸；凹部(15a、15b)，其分别形成于两个端边的同一表面上相当于第1驱动臂的两端部的部位；以及缩颈部(16a、16b)，其相对形成在靠近一方端边的上下表面上，第1驱动臂设有激励两端固定的弯曲振动的激励电极，第2驱动臂设有激励一端固定的弯曲振动的激励电极，检测臂设有当检测臂产生一端固定的弯曲振动时拾取通过弯曲振动激励的电荷的电极。

主权项

1.一种加速度检测装置，其特征在于，所述加速度检测装置具有：外壳；第1驱动臂，其两端部分别通过基部支撑在该外壳的相对的端边上；第2驱动臂，其从所述端边中至少一方端边的基部朝向另一方端边延伸；以及检测臂，其在所述第1驱动臂和所述第2驱动臂的中间位置，从所述一方端面的基部朝向另一方端边延伸；所述第1驱动臂和所述第2驱动臂具有用于弯曲振动的激励电极，所述检测臂具有用于提取产生于该检测臂的电荷的电极，利用所述第1驱动臂和第2驱动臂构成音叉型振子，所述基部中位于所述第1驱动臂的延长线上的部位的厚度的中心位置与所述第1驱动臂的厚度的中心位置错开。