发明名称 | 晶圆盒的转动开关装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开一种晶圆盒的转动开关装置,其设于一晶圆盒的盒座内,其包含一旋转盘、一枢接部、二支撑轴、二抵接轴套及一盖板。所述旋转盘利用所述枢接部枢接于所述晶圆盒的盒座内。所述支撑轴对称的设于所述旋转盘上,所述抵接轴套可转动的套设于所述二支撑轴上,所述二抵接轴套用以抵接所述晶圆盒内的二闩锁板。所述盖板结合于所述枢接部及支撑轴上,使所述抵接轴套可转动的位于所述盖板及旋转盘的底面之间。所述旋转盘可受一驱动机构的驱动而转动,以控制所述闩锁板的开关。藉此,可增加所述转动开关装置的强度,并减少抵接于所述闩锁板时产生的微粒,避免污染所述晶圆盒。 | ||
申请公布号 | CN201327824Y | 申请公布日期 | 2009.10.14 |
申请号 | CN200820178847.9 | 申请日期 | 2008.11.12 |
申请人 | 耀连科技有限公司 | 发明人 | 张耀中 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 翟 羽 |
主权项 | 1、一种晶圆盒的转动开关装置,其设于一晶圆盒的盒座内,其特征在于:所述晶圆盒的转动开关装置包含:一旋转盘;一枢接部,其凸设于所述旋转盘上,用以将所述旋转盘枢接于所述晶圆盒的盒座内;二支撑轴,其对称的固设于所述旋转盘上;二抵接轴套,其分别可转动的套设于所述二支撑轴上;以及一盖板,其结合于所述枢接部及支撑轴上,使所述抵接轴套可转动的位于所述盖板及旋转盘的底面之间。 | ||
地址 | 台湾省高雄市苓雅区中正一路372号9楼之2 |