发明名称 Quadrant photodiode
摘要 <p>Kvadrantová fotodioda je zarízení pro nalezení osy/težište svazku XUV/mekkého rentgenového zárení (napríklad osy/težište laserového svazku pracujícího v této spektrální oblasti). Sestává ze ctyr fotokatod (2) vhodných pro tuto spektrální oblast v usporádání ctyr kruhových vzájemne od sebe dielektrickými prepážkami (12) izolovaných kvadrantu jednoho kruhu a jedné spolecné anody (1) ve tvaru mrížky z materiálu s minimálním koeficientem sekundární emise. Vzdálenost anody (1) od fotokatod (2) vymezuje dno dielektrické misky (4) s velkým otvorem pro pricházející zárení. Podobná kovová miska (8) vše uzavírá do držáku (9). Fotokatody (2) jsou uloženy ve spolecném pouzdre (3), na jehož druhé strane jsou umísteny prepážkami (12) oddelené kvadrantové kondenzátory s dvema vysokonapetovými deskami (5), jednou spolecnou zemnící deskou (7).</p>
申请公布号 CZ20080200(A3) 申请公布日期 2009.10.14
申请号 CZ20080000200 申请日期 2008.03.31
申请人 ASTAV FYZIKY PLAZMATU AV CR, V. V. I. 发明人 SCHMIDT JIRI;BAUMRUK ANTONIN;FROLOV OLEKSANDR;KOLACEK KAREL;PRUKNER VACLAV;ETRAUS JAROSLAV
分类号 H01J40/16;H01L25/04 主分类号 H01J40/16
代理机构 代理人
主权项
地址