微摆动元件及其制造方法

摘要

一种微摆动元件包括框体、可移动功能部分以及用于连接框体与可移动功能部分的扭转连接部分。微摆动元件还包括第一和第二梳齿电极，用于产生使可移动功能部分绕扭转连接部分摆动运动的驱动力。第一梳齿电极包括多个第一电极齿，每个第一电极齿具有在摆动运动方向上叠置的第一导体、绝缘体和第二导体的叠层结构，其中第一导体和第二导体相互电连接。第二梳齿电极包括多个第二电极齿，在非工作状态下，第二电极齿不面向第一电极齿的第二导体，但是面向第一导体。第二电极齿在摆动运动的方向上长于第一导体。

主权项

1、一种微摆动元件，包括：框体；可移动功能部分；扭转连接部分，用于使所述框体与所述可移动功能部分相互连接，并且提供用于可移动功能部分进行摆动运动的轴；以及第一梳齿电极和第二梳齿电极，用于产生摆动运动的驱动力，其中所述第一梳齿电极包括多个第一电极齿，每个第一电极齿具有在摆动运动方向上叠置的第一导体、绝缘体和第二导体的叠层结构，所述第一导体和第二导体相互电连接，其中所述第二梳齿电极固定至所述可移动功能部分，并且包括多个第二电极齿，在非工作状态下，所述第二电极齿不面向所述第一电极齿的第二导体，但是面向所述第一电极齿的第一导体，其中在摆动运动的方向上所述第二电极齿的长度大于所述第一导体，其中所述框体包括多层部分，所述多层部分具有第一导电层、第二导电层以及位于所述第一导电层与第二导电层之间的绝缘层，所述第一导电层和第二导电层通过穿透所述绝缘层的导电通路而相互电连接，其中所述第一梳齿电极固定至所述框体的多层部分，以及其中所述第一电极齿的第一导体延伸至所述第一导电层，并与所述第一导电层电连接，所述第一电极齿的第二导体延伸至所述第二导电层，并与所述第二导电层电连接。