真空加工设备

摘要

在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。

主权项

1.一种加工设备，其包括：室体，其具有用于使基板能够进行装载和卸载的闸式阀；以及可分离地设置在所述室体上的上盖，所述加工设备进一步包括：一个或多个水平驱动单元，用来支撑所述上盖以在面对闸式阀设置方向的方向上水平移动所述上盖；一对上盖移动框架，其以可竖直移动的方式位于所述上盖的相对两侧，并且适于提供所述水平驱动单元的水平移动路径；以及多个竖直驱动单元，其连接到每个所述上盖移动框架的下表面，并彼此间隔开一预定距离，所述竖直驱动单元用来竖直移动所述上盖移动框架和所述上盖。