发明名称 |
高分辨率原子探针 |
摘要 |
一种原子探针包括处于其本地电极以及其探测器之间的一个或多个中间电极,其中中间电极被充电到某个电势,使得它们过滤假离子并阻止它们到达探测器,和/或调节(聚焦)离子的飞行圆锥体以具有更窄或更宽的角度,从而调节原子探针所提供的图像的放大倍数和视场。优选配置在于同时提供过滤电极和聚焦电极,它们可相对于彼此活动并且可以套管式集成,以便某个范围的过滤和聚焦效应。 |
申请公布号 |
CN100550270C |
申请公布日期 |
2009.10.14 |
申请号 |
CN200480019446.3 |
申请日期 |
2004.05.26 |
申请人 |
成像科学仪器公司 |
发明人 |
泰伊·特拉维斯·格里布 |
分类号 |
H01J37/285(2006.01)I;G01N25/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/285(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
秦 晨 |
主权项 |
1.一种原子探针,包括:a.样品台,其上可放置待分析样品;b.与样品台隔开的探测器;c.放置在样品台和探测器之间的局部电极;d.放置在局部电极和探测器之间的过滤电极;其中:(1)局部电极和探测器每个被充电到相对于样品台的某个电势,由此提供在样品台上的任何样品的离子被吸引向局部电极和探测器;以及(2)过滤电极具有相对于样品台的过滤电势,过滤电势比接近局部电极的电势更接近样品台的电势。 |
地址 |
美国威斯康星 |