| 发明名称 | 一种运动解耦的XY向精密定位平台 | ||
| 摘要 | 一种运动解耦的XY向精密定位平台，平台由基座、第一、第二音圈直线电机、第一、第二连接法兰、第一、第二直线轴承组件、工作平台和支撑平台组件组成，第一、第二音圈直线电机以正交方式分别通过第一连接法兰、第一直线轴承组件和第二连接法兰、第二直线轴承组件与工作平台连接，第一音圈直线电机与第一连接法兰连接，第一连接法兰与第一直线轴承组件的第一轴承体连接，第一直线轴承组件的第一轴承座与工作平台连接，第二音圈直线电机与第二连接法兰连接，第二连接法兰与第二直线轴承组件的第二轴承体连接，第二直线轴承组件的第二轴承座与工作平台连接，工作平台由支撑平台组件支撑，支撑平台组件和第一、第二音圈直线电机在基座上。 | ||
| 申请公布号 | CN101556933A | 申请公布日期 | 2009.10.14 |
| 申请号 | CN200910027992.6 | 申请日期 | 2009.05.15 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 张志胜;郑建勇;史金飞;陈芳;柳俊 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 陆志斌 |
| 主权项 | 1.一种运动解耦的XY向精密定位平台，其特征在于平台由基座(A)、第一音圈直线电机(B1)、第二音圈直线电机(B2)、第一连接法兰(C1)、第二连接法兰(C2)、第一直线轴承组件(D1)、第二直线轴承组件(D2)、工作平台(E)和支撑平台组件(F)组成，第一、第二音圈直线电机(B1、B2)以正交的方式分别通过第一连接法兰(C1)、第一直线轴承组件(D1)和第二连接法兰(C2)、第二直线轴承组件(D2)与工作平台(E)连接，所述的第一音圈直线电机(B1)与第一连接法兰(C1)连接，第一连接法兰(C1)与第一直线轴承组件(D1)中的第一轴承体(D12)连接，第一直线轴承组件(D1)中的第一轴承座(D11)与工作平台(E)连接，第二音圈直线电机(B2)与第二连接法兰(C2)连接，第二连接法兰(C2)与第二直线轴承组件(D2)中的第二轴承体(D22)连接，第二直线轴承组件(D2)中的第二轴承座(D21)与工作平台(E)连接，工作平台(E)由支撑平台组件(F)支撑，支撑平台组件(F)和第一、第二音圈直线电机(B1、B2)均固定在基座(A)上。 | ||
| 地址 | 210096江苏省南京市四牌楼2号 | ||