| 发明名称 | 镀膜玻璃用磁控镀膜真空腔室 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种等离子气氛稳定性较好的镀膜玻璃用磁控镀膜真空腔室，包括：腔室，设置在腔室内的三个隔离通道，在每个隔离通道上分别开设有玻璃输送通道，在玻璃输送通道的上、下两侧分别设置有气氛隔离挡板。本实用新型适用于镀膜玻璃生产装置。 | ||
| 申请公布号 | CN201326009Y | 申请公布日期 | 2009.10.14 |
| 申请号 | CN200820215302.0 | 申请日期 | 2008.11.19 |
| 申请人 | 苏州新爱可镀膜设备有限公司 | 发明人 | 赵子东 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 张家港市高松专利事务所 | 代理人 | 黄春松 |
| 主权项 | 1、镀膜玻璃用磁控镀膜真空腔室，包括：腔室，设置在腔室内的三个隔离通道，在每个隔离通道上分别开设有玻璃输送通道，其特征在于：在玻璃输送通道的上、下两侧分别设置有气氛隔离挡板。 | ||
| 地址 | 215625江苏省张家港市锦丰镇锦南路锦丰科技创业园B19号 | ||