| 发明名称 | 薄片粘贴装置 | ||
| 摘要 | 一种薄片粘贴装置，它包括：含有从剥离片(PS)将粘接片(S)剥离的剥离板(22)的薄片导引单元(12)；和将上述粘接片(S)按压粘贴到被支承在工作台(13)上的晶片(W)上的压辊(14)。上述剥离板(22)通过气缸(50)可以进退地被支撑着。该剥离板(22)根据晶片(W)的大小或者支承它的工作台的大小，可以进行前端初始位置的前后调整。 | ||
| 申请公布号 | CN100550337C | 申请公布日期 | 2009.10.14 |
| 申请号 | CN200680024322.3 | 申请日期 | 2006.06.26 |
| 申请人 | 琳得科株式会社 | 发明人 | 野中英明;小林贤治 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海旭诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁国芳 |
| 主权项 | 1、一种薄片粘贴装置，它包括：含有从剥离片将薄片剥离的剥离板的薄片导引单元；和将上述薄片按压粘贴到被支承在工作台上的板状部件上的压辊，其特征在于：上述剥离板可以进退地被支撑着，并且，在工作状态下，上述压辊朝着上述剥离板方向移动的同时，上述剥离板向上述工作台的一侧移动。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||