具有绝缘延伸部的微机电换能器

摘要

公开了一种具有由含绝缘延伸部的绝缘体分隔的两个电极的微机电换能器(诸如cMUT)。两个电极在其间限定换能间隙。绝缘体具有一般设置在两电极之间的绝缘支承以及延伸至两电极中的至少一个中的绝缘延伸部，以在不增加换能间隙的情况下增加有效的绝缘。还公开了一种用于制造微机电换能器的方法。该方法可用于常规的基于膜的cMUT和具有移动刚性顶板的嵌入式弹簧的cMUT。

主权项

1.一种静电换能器，包括：具有顶面的第一导电层；具有与所述第一层的顶面相对的底面的第二导电层，所述第一导电层和所述第二导电层在其间限定换能间隙；一般设置在所述第一导电层和所述第二导电层之间的绝缘支承；以及延伸到所述第一导电层和所述第二导电层中的至少一个内的绝缘延伸部。