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发明名称
Entry lock system, web processing installation, and method for using the same
摘要
申请公布号
EP1964943(B1)
申请公布日期
2009.10.14
申请号
EP20070004187
申请日期
2007.02.28
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
HEIN, STEFAN;SAUER, PETER
分类号
B65H20/02;C23C14/56
主分类号
B65H20/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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