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发明名称
Method for fabricating surface-emitting semiconductor device
摘要
申请公布号
EP0896405(B1)
申请公布日期
2009.10.14
申请号
EP19980114650
申请日期
1998.08.04
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
OUCHI, TOSHIHIKO
分类号
G09F9/33;H01L21/02;H01L27/12;H01L27/15;H01L33/32;H01L33/34;H01L33/44;H01L33/46;H01L33/50;H01S5/00;H01S5/02;H01S5/026;H01S5/183;H01S5/323;H01S5/343
主分类号
G09F9/33
代理机构
代理人
主权项
地址
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