ELECTROSTATIC SUCKING ELECTRODE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD FOR ELECTROSTATIC SUCKING ELECTRODE,申请号KR20070080311-传众专利搜索

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发明名称	ELECTROSTATIC SUCKING ELECTRODE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD FOR ELECTROSTATIC SUCKING ELECTRODE
摘要
申请公布号	KR100921836(B1)	申请公布日期	2009.10.13
申请号	KR20070080311	申请日期	2007.08.09
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;H01L21/02	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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