承载光罩之光罩支撑座

摘要

一种用来承载光罩之光罩支撑座，其包含有一支架，一冷却回路，设于该支架上，用来传输冷却物质，一冷却物质入口，形成于该冷却回路上，用来输入冷却物质至该冷却回路，以及一冷却物质出口，形成于该冷却回路上，用来由该冷却回路输出冷却物质。

主权项

一种用来承载光罩之光罩支撑座，其包含有：一支架；一冷却回路，设于该支架中，用来传输冷媒；一冷媒入口，形成于该冷却回路中，用来输入冷媒至该冷却回路；以及一冷媒出口，形成于该冷却回路中，用来由该冷却回路输出冷媒。