窄线宽闸极及导线之制造方法

摘要

本发明为一种窄线宽闸极的制造方法，包括下列步骤：提供一基底，于该基底上依序形成一闸介电层、一闸导电层、一第一罩幕层、一第二罩幕层。定义该第二罩幕层，形成一闸极图案，续等向性蚀刻该第二罩幕层，缩小该闸极图案之尺寸，接着以该第二罩幕层为一罩幕，依序蚀刻该第一罩幕层、该闸导电层与该闸介电层，形成一缩小尺寸之闸极。本发明之方法亦适用于制造窄线宽之导线。

主权项

一种窄线宽闸极之制造方法，包括下列步骤：提供一基底；于该基底上依序形成一闸介电层、一闸导电层、一第一罩幕层、一第二罩幕层与一抗反射层；于该抗反射层上形成一具有一闸极图案之光阻层；以该光阻层为一罩幕，蚀刻该抗反射层与该第二罩幕层，形成一具有该闸极图案之第二罩幕层；等向性蚀刻该第二罩幕层，缩小该闸极图案之尺寸；移除该光阻层与该抗反射层；以及以该第二罩幕层为一罩幕，依序蚀刻该第一罩幕层、该闸导电层与该闸介电层，形成一缩小尺寸之闸极。