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一种共轭焦影像回馈式雷射雕刻系统，系为利用一成像光学元件所形成之共轭焦影像平面的特性来进行高准确度之同步的对位与校正，该雷射雕刻系统包括：一雷射光束产生装置，系为产生一同轴雷射光束；一第一双色分光镜，系将雷射光束产生装置所发出的雷射光束做一双向反射；一雷射雕刻装置，系为接收第一双色分光镜反射进来的雷射光束，再将该雷射光束经由成像光学元件再聚焦至工件；一共轭焦影像回馈校正装置，系为接收第一双色分光镜反射进来之雷射光束，并侦测该雷射光束之反射光量，以产生共焦成像的纵向反应，使其能够以共轭焦点扫描的方式对工件成像；一微电脑，系用于接收共轭焦影像回馈校正装置产生的工件之成像，并做该工件成像之影像方面的校正处理，当影像校正处理完成后即送出一回馈校正讯号至雷射雕刻装置，以进行对位与校正的动作；雷射光束产生装置发出一同轴雷射光束，并经由第一双色分光镜在同一时间做双向反射，一边反射到雷射雕刻装置，另一边则反射到共轭焦影像回馈校正装置，而共轭焦影像回馈校正装置系以共轭焦点扫描的方式对工件成像，再利用微电脑做该工件成像的影像校正处理，该成像的平面亦同时为雷射雕刻作用的共轭平面，故可使其达到完全同步之对位与校正。 |
