可剥除式胶带输送器

摘要

用于在半导体晶圆之处理过程中的一支持胶带包括一黏着性胶带，以及数个配置在黏着性胶带上的间隔支持肋状部。

主权项

一种支持胶带，其包含：一包含背面研磨胶带之黏着性胶带，其具有一第一坚固值及在其一第一表面上的一黏着剂，该黏着剂建构成可黏着至一半导体晶圆且自其剥除；以及数个侧向间隔的长条形支持肋状部，其等相对于该黏着剂而配置于该黏着性胶带的一第二表面上且具有一第二坚固值，其中该第二坚固值高于该第一坚固值。