| 摘要 |
1. Камера обработки для обработки материала посредством направленного пучка электромагнитного излучения, содержащая: ! оптический элемент (9) для ввода пучка (7) в камеру (10) обработки, причем оптический элемент имеет поверхность (9a), которая обращена внутрь камеры обработки, ! часть (12) стенки, окружающую оптический элемент (9), ! первое входное отверстие (16) для газа, которое расположено на одной стороне оптического элемента (9) и сконструировано таким образом, что вытекающий первый газовый поток (18) течет, по существу, по касательной к поверхности (9a) оптического элемента, ! второе входное отверстие (23) для газа, которое сконструировано и расположено таким образом, что вытекающий второй газовый поток (25) течет на расстоянии от поверхности (9a), по существу, в том же самом направлении, как первый газовый поток (18). ! 2. Камера обработки по п.1, отличающаяся тем, что входные отверстия (16, 23) расположены одно под другим. ! 3. Камера обработки по п.1, отличающаяся тем, что первый газовый поток (18) и второй газовый поток (25) являются, по существу, ламинарными. ! 4. Камера обработки по п.2, отличающаяся тем, что первый газовый поток (18) и второй газовый поток (25) являются, по существу, ламинарными. ! 5. Камера обработки по п.1, в которой одно входное отверстие или оба входных отверстия (16, 23) имеют форму щели. ! 6. Камера обработки по п.2, в которой одно входное отверстие или оба входных отверстия (16, 23) имеют форму щели. ! 7. Камера обработки по п.3, в которой одно входное отверстие или оба входных отверстия (16, 23) имеют форму щели. ! 8. Камера обработки по п.4, в которой одно входное отверстие или оба входных отверстия (16, 23) имеют форму щели. ! 9. Камера обработки по п.1, о� |
