| 摘要 |
Чувствительный элемент неохлаждаемого фотоприемника инфракрасного диапазона, состоящий из полупроводниковой подложки с жестко закрепленной на ней опорой мостиковой структуры, выполненной из диэлектрика, соединенной с фоточувствительным слоем, выполненным из материала чувствительного к ИК излучению, соединенный с подложкой металлическими контактами, и расположенным между двумя буферными слоями, выполненными из диэлектрика, микролинзы, жестко закрепленной на четырех опорах, выполненных из полупроводникового материала, представляющими собой мостиковую структуру, микрозеркала, выполненного из металла и расположенного под мостиковой структурой, отличающийся тем, что микрозеркало закреплено на четырех биморфных пьезоэлементах, расположенных с зазором относительно подложки и состоящих из трех управляющих металлических электродов и расположенных между ними двух слоев пьезокерамики каждый. |
