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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FILM DEPOSITION AND MEMORY MEDIUM
摘要
申请公布号 KR100921259(B1) 申请公布日期 2009.10.09
申请号 KR20050119270 申请日期 2005.12.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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