Verfahren zum Antreiben eines MEMS-Spiegelabtasterorrichtungsabtasters und Verfahren zum Steuern des Drehwinkels einer MEMS-Betätigungsvorrichtung

摘要

Verfahren zum Antreiben eines MEMS-Spiegelabtasters mit einer elektrostatischen Betätigungsvorrichtung, aufweisend einen Schritt des Antreibens der elektrostatischen Betätigungsvorrichtung gemäß einem Eingangssignal entsprechend einer Antriebswellenform, die durch die folgende Gleichung erhalten wird: wenn $I1 wenn $I2 wobei B/I, kappa/I, (1/I) . dCL(Theta)/dTheta und (1/I) . dCR(Theta)/dTheta Parameter zum Erhalten der Antriebswellenform sind, Theta(t) eine gewünschte Spiegelwinkelantwort ist, I ein Trägheitsmoment eines bewegten Teils enthaltend einen Spiegel ist, 2B ein Dämpfungsfaktor (Dämpfungskoeffizient) ist, kappa eine Federkonstante ist, CL(Theta), CR(Theta) Winkelabhängigkeiten einer elektrischen Kapazität sind, VB eine konstante Vorspannung beim Differenzantrieb ist, und C+'(Theta) und C-'(Theta) gleich 1/2 der Summe bzw. der Differenz der Ableitung erster Ordnung von CL(Theta) und CR(Theta) mit Bezug auf Theta sind, die durch die folgenden Gleichungen dargestellt sind: $I3, (8), $I4 (9).