| 发明名称 |
Herstellungsverfahren für eine ferroelektrische Speichervorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60042811(D1) |
申请公布日期 |
2009.10.08 |
| 申请号 |
DE20006042811 |
申请日期 |
2000.06.02 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP. |
发明人 |
SHIMODA, TATSUYA;NISHIKAWA, TAKAO |
| 分类号 |
H01L27/10;H01L21/02;H01L21/033;H01L21/316;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/108;H01L27/115 |
主分类号 |
H01L27/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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