| 发明名称 |
POLISHING COMPOSITIONS AND USE THEREOF |
| 摘要 |
Slurry compositions comprising abrasive particles and solid lubricant particles are useful for planiarizing surfaces, and preventing delamination and scratches.
|
| 申请公布号 |
US2009253354(A1) |
申请公布日期 |
2009.10.08 |
| 申请号 |
US20090484820 |
申请日期 |
2009.06.15 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
RONAY MARIA |
| 分类号 |
B24B1/00;C09G1/02 |
主分类号 |
B24B1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
