Verfahren zur Herstellung eines Dünnschicht-Thermogenerators,申请号DE200610040576-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung eines Dünnschicht-Thermogenerators
摘要
申请公布号	DE102006040576(B4)	申请公布日期	2009.10.08
申请号	DE200610040576	申请日期	2006.08.30
申请人	ANGARIS GMBH	发明人	STORDEUR, MATTHIAS;ENGERS, BERND;SCHULTZ, JENS
分类号	H01L35/34;C23C14/00;C23C16/00;H01L21/36;H01L35/32	主分类号	H01L35/34
代理机构		代理人
主权项
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