发明名称 Vorrichtung zur Ausbildung eines Films und Verfahren zum Herstellen eines optischen Elements
摘要
申请公布号 DE10297560(B4) 申请公布日期 2009.10.08
申请号 DE20021097560 申请日期 2002.12.17
申请人 NIKON CORP. 发明人 AKIYAMA, TAKAYUKI
分类号 C23C14/54;G02B1/10;C23C14/06;G01B11/06;G02B5/28 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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