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经营范围
发明名称
Vorrichtung zur Ausbildung eines Films und Verfahren zum Herstellen eines optischen Elements
摘要
申请公布号
DE10297560(B4)
申请公布日期
2009.10.08
申请号
DE20021097560
申请日期
2002.12.17
申请人
NIKON CORP.
发明人
AKIYAMA, TAKAYUKI
分类号
C23C14/54;G02B1/10;C23C14/06;G01B11/06;G02B5/28
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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