| 发明名称 |
SURFACE TREATMENT MEMBER FOR SEMICONDUCTOR-PRODUCING EQUIPMENT, AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2009228132(A) |
申请公布日期 |
2009.10.08 |
| 申请号 |
JP20090034660 |
申请日期 |
2009.02.17 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
TSUBOTA TAKAYUKI;HISAMOTO ATSUSHI;WADA KOJI;HOSOKAWA MAMORU |
| 分类号 |
C25D11/18;H01L21/205;H01L21/3065 |
主分类号 |
C25D11/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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