| 发明名称 |
DEVICE FOR THE PLASMA TREATMENT OF WORKPIECES |
| 摘要 |
<p>Die Vorrichtung dient zur Plasmabehandlung von Werkstücken (5). Das Werkstück (5) wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer (17) einer Behandlungsstation (3) eingesetzt. Die Plasmakammer (17) ist von einem Kammerboden (29), einem Kammerdeckel (31) sowie einer seitlichen Kammerwandung (18) begrenzt. Im Bereich der Plasmakammer (17) ist eine Dichtung (47) zur Beaufschlagung eines Mündungsrandes (49) des in die Plasmakammer (17) eingesetzten Werkstückes (5) angeordnet. Die Dichtung (47) ist mindestens im Bereich ihrer dem Werkstück (5) zuwendbaren Ausdehnung aus Metall ausgebildet und federnd angeordnet.</p> |
| 申请公布号 |
WO2009121324(A1) |
申请公布日期 |
2009.10.08 |
| 申请号 |
WO2009DE00370 |
申请日期 |
2009.03.13 |
| 申请人 |
KHS CORPOPLAST GMBH & CO. KG;SIEBELS, SOENKE |
发明人 |
SIEBELS, SOENKE |
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
