Verfahren und Vorrichtung zum Testen und Kalibrieren von elektronischen Halbleiterbauelementen, die Schall in elektrische Signale umwandeln

摘要

Bei einem Verfahren zum Testen und Kalibrieren von elektronischen Halbleiterbauelementen, die Schall in elektrische Signale umwandeln, werden die Halbleiterbauelemente (18) in einem Schallraum (10) beschallt, dessen größte freie Länge (a) kleiner ist als die halbe Wellenlänge der höchsten Frequenz der beim Test erzeugten Schallwellen.