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发明名称 AMELIORATION DE LA DEFECTIVITE POST DECOLLEMENT D'UNE COUCHE MINCE PAR MODIFICATION DE SON RECUIT DE DECOLLEMENT.
摘要
申请公布号 FR2914496(B1) 申请公布日期 2009.10.02
申请号 FR20070054135 申请日期 2007.03.29
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME 发明人 SCHWARZENBACH WALTER;BEN MOHAMED NADIA;GUITTARD FLEUR
分类号 H01L21/762;H01L21/324 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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