发明名称 PROCEDE DE GRAVURE CHIMIQUE HUMIDE
摘要 Pour réaliser une gravure chimique humide, afin d'enlever une protection (9) en un matériau magnétique présent sur une surface d'un composant (5) intégré électronique, on baigne (1) le composant dans une solution (2) de gravure et on accélère (4, 11 ) la gravure chimique. Pour améliorer cette gravure et maitriser le temps de gravure, on met le composant électronique baignant dans la solution en mouvement (13) en le soumettant à l'action d'un champ magnétique tournant (11 ). La rotation s'arrête toute seule dès que la protection a été dissoute.
申请公布号 FR2929448(A1) 申请公布日期 2009.10.02
申请号 FR20080052060 申请日期 2008.03.28
申请人 EADS AERONAUTIC DEFENCE AND SPACE COMPANY EADS FRANCE SOCIETE ANONYME 发明人 SCANFF ESTELLE;FOUCHER BRUNO;LOMBAERT VALOT ISABELLE
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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