发明名称 AMELIORATION DE LA QUALITE D'UNE COUCHE MINCE PAR RECUIT THERMIQUE HAUTE TEMPERATURE.
摘要
申请公布号 FR2914495(B1) 申请公布日期 2009.10.02
申请号 FR20070054131 申请日期 2007.03.29
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME 发明人 BOURDELLE KONSTANTIN;NGUYEN NGUYET PHUONG;SCHWARZENBACH WALTER
分类号 H01L21/324;H01L21/762 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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