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发明名称
AMELIORATION DE LA QUALITE D'UNE COUCHE MINCE PAR RECUIT THERMIQUE HAUTE TEMPERATURE.
摘要
申请公布号
FR2914495(B1)
申请公布日期
2009.10.02
申请号
FR20070054131
申请日期
2007.03.29
申请人
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME
发明人
BOURDELLE KONSTANTIN;NGUYEN NGUYET PHUONG;SCHWARZENBACH WALTER
分类号
H01L21/324;H01L21/762
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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