发明名称 Epitaxial growth on low degree off-axis silicon carbide substrates and semiconductor devices made thereby
摘要
申请公布号 AU2009228841(A1) 申请公布日期 2009.10.01
申请号 AU20090228841 申请日期 2009.03.12
申请人 SEMISOUTH LABORATORIES, INC. 发明人 JIE ZHANG
分类号 C30B23/06;C30B29/36 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
主权项
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