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发明名称 VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINES ZUR MIKROBEARBEITUNG GEEIGNETEN POLYKRISTALLINEN SIGE
摘要
申请公布号 DE60139610(D1) 申请公布日期 2009.10.01
申请号 DE2001639610 申请日期 2001.04.05
申请人 IMEC 发明人 SEDKY, SHERIF;WITVROUW, ANN;BAERT, KRIS;CAYMAX, MATTY;RUSU, CRISTINA
分类号 H01L21/205;B81B3/00;B81C1/00;C23C16/22;H01L31/0368;H01L31/18 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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